Monte Carlo模擬方法需做以下處理
(1)雖然沉積粒子所釋放的動能和結合能將導致沉積原子附近局部溫度升高，但整個基體的溫升是極其微小的，因此可認為薄膜生長是等溫生長過程。
(2)當人射粒子在基體表面上的能量足夠大時，該粒子不但可以在膜層表面進行遷移運動，甚至可以在垂直方向進行運動，若其下層有空位，還可以穿越到下層填補空位。
(3)在實際過程中，單個粒子的再蒸發率較高，而一旦1個粒子與其他粒子相遇并結合成團后，其再蒸發概率將大為降低，因此可以近似地認為，只有單個粒子可以被再蒸發到基體外部，而多個粒子被再蒸發和分解的可能性很小。
(4)粒子在基體表面上的運動分為3種情況:①吸附:粒子被吸附在基體表面。②擴散:粒子在基體表面上遷移，其遷移方向應使系統整體能量降低。擴散包括單個粒子自由擴散和沿簇團邊緣擴散。③蒸發:粒子在特定的條件下脫離基體表面。
