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      薄膜制備方法
      
						  
          按成膜機理分類，薄膜的制備方法可大致分為物理方法和化學方法兩大類。
          物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)是利用某種物理過程，如物質的熱蒸發或在受到粒子束轟擊時物質表面原子的濺射等現象，實現物質從原物質到薄膜的可控的原子轉移過程。物理氣相沉積的主要特點是:
          (1)需要使用固態的或者熔化態的物質作為沉積過程的原物質；
      
						  
						  
						  
						  
						  
						  
						
      
						 




					
      
				
      
				
      
			
      
		
      
	
      

      




      

	
	
		
		
		
		
		
		


		

		
		

	
	



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